石英坩堝-杭州大和热磁

石英坩堝

純度が高く耐熱性に優れている石英ルツボは単結晶シリコンの引き上げにおいて必要不可欠な部材です。その性能は単結晶シリコン歩留りに大きな影響を与え、Ferrotec(中国)坩堝事業部はお客様の歩留り向上のニーズに対応するため、たゆまぬ技術革新を通して、大きなブレークスルーを遂げました。我社が開発した四シリーズの石英ルツボはお客様の多様な単結晶シリコン引き上げプロセスニーズに応えられます。ルツボのサイズは、14inch から32inchまで対応可能、お客様のニーズによってさらに大きなサイズにも対応できる技術を持っています。文を削除する後加工ラインにおいては、三年間の開発ののちに全自動の生産ラインを構築し、石英坩堝の品質安定に寄与しています。

ラインナップ

AQM-10シリーズ   内側を透明コーティングした天然石英ルツボ。
AQM-20シリーズ    高純度天然石英ルツボ削除する、AQM-10製品をベースに、高純度天然砂を増やし内側表面の純度が高い。
AQM-30シリーズ    合成石英坩堝、内側表面の純度はさらに高い。ハイグレードインゴットの引き上げに適合する。
AQM-40シリーズ   内側表面を結晶化させた天然石英ルツボ、リチャージプロセスに適し長時間使用可能。

AQM-10シリーズ

適用範囲：太陽電池用単結晶シリコンの引き上げ工程。

AQM-20シリーズ

適用範囲:半導体及び太陽電池用単結晶シリコンの引き上げ。主力製品：AQM-21型。

AQM-30シリーズ

用範囲：単結晶シリコンの引き上げ。主力製品：AQM-31型。

AQM-40シリーズ

適用範囲:半導体及び太陽電池用単結晶シリコンの引き上げ。主力製品:AQM-42型。

Ferrotecは、純度の高い原材料を採用し、各工程において金属イオン汚染源をコントロール削除しています。後加工ラインには自動化生産ラインとクリーンルームを導入し、製造工程における不純物汚染防止を保証し、石英坩堝の純度を確実に保証します。

内表面高純度化

Ferrotecは、先進的なコーティング技術を開発し、活用[削除する]しています。AQM-40型がこの先進技術にて製造された製品シリーズです。

内表面結晶化

少気泡化を達成するため、Ferrotecは熔融プロセス及び設備性能の向上に向けて、たゆまぬ努力しています。全ての主力製品には少気泡化加工技術が活用されています。

透明層の気泡極少化

Ferrotec製石英ルツボの特徴

透明層における気泡の極少化、内表面結晶化及び内表面高純度化の三つの主要技術がFerrotecが高品質の石英坩堝を製造できる秘訣です。透明層において気泡の極少化は、石英坩堝を長時間の引き上げを可能とします。内表面結晶化というのは坩堝の内表面に緻密的な結晶層を形成させることで、石英結晶物の剥離を防止し、石英坩堝とシリコン液との反応を抑制できるため、単結晶シリコンの歩留りを改善可能です。内表面高純度化は坩堝の内表面にクリストバライトが発生しにくくし、単結晶シリコンの結晶化へは影響がありません。

Matrix diagram of applications in various fields

領域別の適用のマトリクス図

半導体関係

石英坩堝

半導体の製造に使用される；