セラミックス
フェローテック(中国)はセラミックス技術を基に、石英、セラミックス、シリコンパーツなどの半導体用の新材料を生産しています。
また、先進のCIP技術、鋳込成形技術を持ち、豊富な精密加工経験と完全な
後処理ﾌﾟﾛｾｽを備えています。独自に開発した低誘電損失ｾﾗﾐｯｸ材料は突出した特性を 持ち、世界で牽引する水準になっています。
現在Ferrotec(中国)で生産するｱﾙﾐﾅｾﾗﾐｯｸｽと炭化珪素ｾﾗﾐｯｸｽの2種類のﾌｧｲﾝｾﾗﾐｯｸｽ、
とりわけ高純度ｱﾙﾐﾅｾﾗﾐｯｸｽと大口径CVD-SICは国内のﾘｰﾀﾞｰ的製品となっFerrotec は国内の生産の空白部分をほぼ埋めています。
大型CIP成形装置、電気炉、大気炉、平面研削機、横軸ﾛｰﾀﾘｰ研削機、3軸/5軸ﾏｼﾆﾝｸﾞｾﾝﾀｰ、縦型研削機、NC機、LAP/POLISH等先進設備を100台以上、同時に
三次元測定機、投影機、顕微鏡、面粗度計等精密検査装置を十数台、更にｸﾗｽ1000級クリーン化学洗浄およびｸﾗｽ100級の純水洗浄クリーンルームを保有。
a. 高精度NC加工装置、例Mazakﾏｼﾆﾝｸﾞｾﾝﾀｰ、OKKﾏｼﾆﾝｸﾞｾﾝﾀｰ、岡本ﾛｰﾀﾘｰ太陽工機縦型研削機、福裕平面検査機機等
b. 日本から輸入した美濃窯業ガス焼結炉、先進廃棄処理システム
c. 超大型CIP成形機、最大直径1000mm、高さ1200mmの大型ｾﾗﾐｯｸｽ材料の成形が可能
d. 先進研究開発支援装置、例XRD、ｷｰｴﾝｽﾚｰｻﾞｰ光学顕微鏡等
e. 高精度自動検査装置、例三次元測定機、全自動画像測定機、分光測定機
f. 全自動化学洗浄ライン
g. ｸﾗｽ100級ｱﾙﾐﾅとｸﾗｽ100級CVD炭化珪素用ｸﾘｰﾝ洗浄ライン各1ライン
同時に先進の高精度加工設備とﾊｲｸﾗｽのﾌﾟﾛ人材を併せ持っています。我々の生産している高純度ｱﾙﾐﾅ、炭化珪素、窒化珪素、窒化ｱﾙﾐ等の製品は半導体製造、電子通信、光ﾌｧｲﾊﾞ、精密機器、ﾊｲｴﾝﾄﾞ技術分野で幅広く使用され、高い技術的価値と品質により海外、国内の市場で高く評価されています。我々の強大な研究開発ｾﾝﾀｰは多数のｾﾗﾐｯｸｽ分野でじっくり深く実績を積んだ優れたｴﾝｼﾞﾆｱが中核であり、毎年日本の専門家との交流や指導を受けています。また浙江高校との提携や、たゆまなく業界最新技術を取り入れるなど、研究開発ｾﾝﾀｰの革新的な開発の堅実な基盤を築いています。
