根据IC Insights 2021年O-S-D报告（光电器件、传感器/驱动器和分立器件市场分析和预测），预计2021年制造的MEMS传感器和驱动器将增长约16%，高达创纪录的159亿美元，2020年增长11%。
基于MEMS的压力传感器、麦克风芯片、加速计、陀螺仪设备和驱动器的总销售额预计将以每年两位数的百分比增长，直至2024年，届时下一轮周期性经济放缓预计将使增长率降至4%，随后在2025年反弹9%。
2020年下半年，基于MEMS的传感器/驱动器产品的复苏增长迅猛，制造商在看到关键终端市场出现稳定和复苏迹象后，迅速开始补充库存。
2020年至2025年间，基于MEMS的传感器和驱动器的销售额预计将以11.8%的复合年增长率增长至241亿美元，出货量将以13.4%的复合年增长率增长至321亿台.
每年销售的半导体传感器和几乎所有的驱动器中，约有一半包含MEMS传感器结构和电路功能，以在终端应用中执行其工作。
2020年，在总价值165亿美元的传感器/驱动器市场中，约83%的销售额来自采用MEMS技术制造的设备。
在2020年全球出货的309亿个传感器和驱动器中，约55%包含MEMS。
基于MEMS的传感器和驱动器每年约有44%的销售额来自汽车应用。