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大硅片技术
大硅片技术
Ferrotec(中国)12英寸大硅片技术的突破,尤其是拉单晶技术、抛光技术,使得硅片生产能力进一步升级,逐步实现300mm半导体硅片20万片/月的目标。
大硅片技术
Wafers for Semiconductor
技术发展路线 技术设备能力 生产工艺
生产工艺
Silicon Wafer Process Flow
多晶<br>Poly Silicon
多晶
Poly Silicon
CZ法拉晶<br>CZ Growing
CZ法拉晶
CZ Growing
晶棒滚磨<br>Grinding
晶棒滚磨
Grinding
晶棒截断<br>Cutting
晶棒截断
Cutting
切片<br>Slicing
切片
Slicing
倒角<br>Beveling
倒角
Beveling
研磨<br>Lapping
研磨
Lapping
腐蚀<br>Etching
腐蚀
Etching
热处理<br>Donor Kill
热处理
Donor Kill
背面处理<br>Back Treatment
背面处理
Back Treatment
边缘抛光<br>beveling Polishing
边缘抛光
beveling Polishing
抛光<br>Polishing
抛光
Polishing
洗净<br>Cleaning
洗净
Cleaning
检查<br>Inspection
检查
Inspection
包装<br>Packaging
包装
Packaging
运送<br>Shipping
运送
Shipping