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磁流体真空密封传动装置 OEM非标装配服务 电子束蒸发器 金属加工 喷淋头
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400 0518 700
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喷淋头
Shower head
喷淋头
喷淋头Shower head
喷淋头，被广泛应用半导体集成电路制造过程中的PVD、CVD、PECVD、刻蚀等工艺流程中，是各类气体分配过程中的关键零部件。
产品具有高精度、高清洁度、多重-复合表面处理（如喷砂/阳极氧化/刷镀镍/电解抛光等集一体）等特征。
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联系电话： 021-31340912
E-mail： linq@ferrotec.com.cn
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生产能力
生产能力
机加工能力：公司规划不同尺寸的高精度加工设备140余台，分为三期投产。机加工精度可控制在2微米以内、可实现多品种、多规格的SHower head的批量性生产加工；
检测能力：公司具备多种高精密检测设备，包括三坐标、影像仪、平面仪等，提供快速高效的检测手段，同时可实现各品种的逆向开发工程。
焊接能力：公司具备全类型的焊接设备，可实现电子书焊接、搅拌摩擦焊接、扩散焊接、真空钎焊接，并且具备焊接缺陷分析能力。
P1
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Matrix diagram of applications in various fields
各领域的应用之矩阵图
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半导体制造过程中的PVD、CVD、PECVD、刻蚀等工艺流程
该产品的生产基地
杭州大和热磁电子有限公司