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喷淋头
Shower head
喷淋头
喷淋头Shower head
喷淋头,被广泛应用半导体集成电路制造过程中的PVD、CVD、PECVD、刻蚀等工艺流程中,是各类气体分配过程中的关键零部件。
产品具有高精度、高清洁度、多重-复合表面处理(如喷砂/阳极氧化/刷镀镍/电解抛光等集一体)等特征。
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联系电话: 0571-86699985
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生产能力
生产能力
机加工能力:公司规划不同尺寸的高精度加工设备140余台,分为三期投产。机加工精度可控制在2微米以内、可实现多品种、多规格的SHower head的批量性生产加工;
检测能力:公司具备多种高精密检测设备,包括三坐标、影像仪、平面仪等,提供快速高效的检测手段,同时可实现各品种的逆向开发工程。
焊接能力:公司具备全类型的焊接设备,可实现电子书焊接、搅拌摩擦焊接、扩散焊接、真空钎焊接,并且具备焊接缺陷分析能力。
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Matrix diagram of applications in various fields
各领域的应用之矩阵图
真空技术相关
喷淋头

半导体制造过程中的PVD、CVD、PECVD、刻蚀等工艺流程

该产品的生产基地