精密石英-杭州大和热磁

精密石英

Ferrotec（中国）精密石英采用高品质进口原材料，经过一系列的先进加工工艺处理而成，历经20余年的研发生产，Ferrotec可批量生产12",8"以及8"以下半导体装置用石英制品，并具备下一代18"石英产品的研发能力。同时能够根据客户要求选用合适的原材料进行加工生产。

精密石英分类

Ferrotec（中国）为满足客户需求，可生产多种多样的石英产品，依托精密的加工技术、焊接技术、表面处理（洗净）技术三大核心技术优势以及具有全球化视野的专业技术团队支持，为客户量身打造高品质产品。

石英管类

主要包括反应管，内管，外管，炉管，喷射管等产品；主要应用于半导体扩散、氧化、成膜、热处理等硅片表面处理工艺设备，对装配尺寸、洁净度、密封度有较高的要求。

石英舟类

分为5寸，6寸，8寸，12寸各类规格舟，应用于各类表面处理工艺设备、湿法洗净工艺中，舟类产品直接装载硅片，并大多应用于自动上下片工艺中，所以石英舟的尺寸精度和洁净度非常重要。

石英机加工类

包括各种环、圆盘等产品，主要应用于半导体硅片刻蚀、沉积等工艺，对尺寸精度、洁净度、外观状态等方面的要非常高，部分产品不允许返修，必须一次成型，所以对加工能力要求高。

石英治具类

主要有装载盘、底座、封盖等产品；应用于各种半导体处理工艺的辅助设备中，其精度视应用的工艺而定。

石英洗净类

包括石英槽、石英支架等产品，主要应用于半导体湿法洗净工艺，精度相对不高，但对外观、洁净度有较高的要求。

耐热性

透光性

高纯度

电气绝缘

化学稳定

Ferrotec精密石英优点

耐热性、透光性、高纯度、电气绝缘、化学稳定高。高精度的石英制品不仅为300nm半导体芯片制程提供可靠保障，也能满足太阳能光伏行业在扩散制程中对低铁、低铜的要求，被广泛应用于半导体扩散刻蚀工艺、光纤预制棒加工、LED照明制造及太阳能光伏等工业领域。

Matrix diagram of applications in various fields

各领域的应用之矩阵图

半导体相关

精密石英

半导体晶圆制作扩散，刻蚀等工艺；

半导体晶圆湿法洗净工艺；

半导体硅片外延EPI等工艺；

LED制作外延MOCVD，芯片工艺；

光纤预制棒：制造过程中的炉心管、喷灯，配套紧固件；