不锈钢真空腔体
· Ferrotec真空事业部不锈钢腔体月产可突破350台以上；
· 现有最大体积可达5185mm长*2100mm宽*2330mm高；
· 拥有美国ASME及GB锅炉和压力容器规范D1和D2资格认证。
不锈钢腔体具有优良的抗腐蚀性、放气率低、无磁性、焊接性好、导电率和导热率低、真空度处于0.1-10-5Pa之间，能够在-270—900℃工作等优点。加工过程中必须要求：焊接缝在腔内、腔内400目抛光、腔体进行电解抛光。
不锈钢腔体主要由SUS304或SUS316材料氩弧焊接而成，广泛应用于PVD,PECVD,CVD,MOCVD,OLED,刻蚀设备及低温制冷行业。
