RegionGlobal Website
400 0518 700
精密洗净技术
精密洗净技术
为应对不断提升的半导体制程要求,依托美国、日本等技术支持,成功完成陶瓷溶射工艺的研发并量产,拥有国际先进的洗净生产线,努力抢占半导体、TFT产业技术制高点。
技术发展路线 技术设备能力 生产工艺 实用新型国家专利

技术背景

(1)Ferrotec从事精密洗净18年,积累了大量成熟的洗净BKM,并在持续改进;

(2)与世界知名半导体设备商合作,共同开发领先的洗净技术;

(3)将于2019第一季度筹建精密洗净研发中心,增强失效分析和先进制程研发能力;

洗净环境

(1)Cu/Non-Cu通过不同生产线完全隔离,降低交叉污染;

(2)不同制程的清洗隔离,专用陶瓷石英清洗线,降低污染;

(3)无尘室采用垂直流方式,无尘环境更容易控制;

(4)无尘室内采用干湿分离,降低交叉污染的风险;

设施

上海工厂

大连工厂

铜陵工厂

空压机

有油空压机

有油空压机

无油空压机

CDA/N2

CDA

N2(99.999%)

N2(99.999%)

纯水

高纯水(>16MΩ)

超纯水(>18MΩ)

超纯水(>18MΩ)

无尘室

乱流式循环(1000级/100级)

乱流式循环(1000级/100级)

垂直层流式循环

(100级/10级)

生产环境

多种产品混合

专用生产线、环境可控

专用生产线、环境可控

自动化

引入自动喷砂、高压水洗等自动化设备

引入自动喷砂、高压水洗等自动化设备

精密的测量设备

量测项目

量测设备

新厂

表面Particle

表面颗粒仪

0.1um

液体particle

LPC

0.1um

关键尺寸

CMM

0.001mm

孔径

影像仪

全自动、0.001um

微观形貌

Keyence

3000X

微观裂纹

C-SAM

可断面扫描