精密洗净技术
为应对不断提升的半导体制程要求，依托美国、日本等技术支持，成功完成陶瓷溶射工艺的研发并量产，拥有国际先进的洗净生产线，努力抢占半导体、TFT产业技术制高点。
技术背景
（1）Ferrotec从事精密洗净18年，积累了大量成熟的洗净BKM，并在持续改进；
（2）与世界知名半导体设备商合作，共同开发领先的洗净技术；
（3）将于2019第一季度筹建精密洗净研发中心，增强失效分析和先进制程研发能力；
洗净环境
（1）Cu/Non-Cu通过不同生产线完全隔离，降低交叉污染；
（2）不同制程的清洗隔离，专用陶瓷石英清洗线，降低污染；
（3）无尘室采用垂直流方式，无尘环境更容易控制；
（4）无尘室内采用干湿分离，降低交叉污染的风险；
设施 | 上海工厂 | 大连工厂 | 铜陵工厂 |
空压机 | 有油空压机 | 有油空压机 | 无油空压机 |
CDA/N2 | CDA | N2(99.999%) | N2(99.999%) |
纯水 | 高纯水（>16MΩ） | 超纯水（>18MΩ） | 超纯水（>18MΩ） |
无尘室 | 乱流式循环（1000级/100级） | 乱流式循环（1000级/100级） | 垂直层流式循环 （100级/10级） |
生产环境 | 多种产品混合 | 专用生产线、环境可控 | 专用生产线、环境可控 |
自动化 | 无 | 引入自动喷砂、高压水洗等自动化设备 | 引入自动喷砂、高压水洗等自动化设备 |
精密的测量设备
量测项目 | 量测设备 | 新厂 |
表面Particle | 表面颗粒仪 | 0.1um |
液体particle | LPC | 0.1um |
关键尺寸 | CMM | 0.001mm |
孔径 | 影像仪 | 全自动、0.001um |
微观形貌 | Keyence | 3000X |
微观裂纹 | C-SAM | 可断面扫描 |
