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精密洗净技术
精密洗净技术
为应对不断提升的半导体制程要求,依托美国、日本等技术支持,成功完成陶瓷溶射工艺的研发并量产,拥有国际先进的洗净生产线,努力抢占半导体、TFT产业技术制高点。
技术发展路线 技术设备能力 生产工艺 实用新型国家专利