FCCWS051-7402系列冷水机是由FerroTec热电事业部自主研发的压缩机式低温型冷水机。这款产品能够满足实验室研究、医疗行业、工业应用、电子元器件、汽车、光通讯、航天航空、半导体行业蚀刻装置,CMP、模具温控等多领域应用;为不同工艺步骤提供稳定、精确的温度控制,从而确保半导体器件的质量和性能。
一、产品细节图
二、产品特性
01 温度范围
能够根据客户的具体应用场景提供从-20℃到80℃的循环液温度,覆盖广泛的工业应用需求。
02 高精度温度控制
内置热敏电阻(RTD,电阻温度探测器)实时监控进出液口的循环液温度确保在使用温度范围内精度高达±0.1℃。此外,机器搭载温度补偿功能,能够保证长距离输送情况下循环液的温度精度,提供稳定可靠的温度控制。
03 精确控制系统性能
内置流量计和压力传感器(来自东京计装),通过旁通阀精确调节循环液流量和压力。所有实时数据均可在机器屏幕上显示,便于用户监控和调整。
04 高效冷却
实验室测试表明:设备在输出-20℃循环液时最高制冷量可达4kW,循环液流量可维持在25L/min,确保高效稳定的冷却效果。
05 智能化控制程序
设备可实现PID自动调整功能,每一阶温度段都能快速达到温度稳定状态。
06 远程操控
支持remote/local模式切换,客户可以通过控制电脑直接进行远程操控和监测,提高管理便利性。
07 适应复杂应用场景
经过优化的内部循环液管路设计,实现长距离配管和高低落差应用。在40米配管和高落差下,只需要1分钟左右就能完成补液和空气排气。同时缩短了内部管路长度,在保证机器美观的同时提升了能量使用效率。
08 节能减排
温控器的压缩机和水泵均为变频设计,可根据实际使用场景动态调整功率,实现节能降耗。冷冻循环系统使用的冷媒为R410A,臭氧破坏系数为0。
09 高清洁度
出厂前经过多次精细清洗,确保管路清洁无污染,客户可直接投入使用。机器自带过滤器,有效防止后续使用中污染物进入客户端,保障系统的长期稳定运行。
10 配备过滤减压阀
设备配备了SMC的过滤减压阀,确保在使用完成后能够快速、彻底地排尽管路内的循环液,简化维护流程。
11 获得SEMI认证
设备通过了SEMI认证,符合半导体行业对冷却设备的高标准要求。在稳定性、精准控制、清洁度、可靠性和环境适应性等方面均表现出色,尤其适用于半导体制造、激光设备、精密仪器等高端应用领域。
12 多种安全功能
设备拥有完善的安全防护结构和功能,包括过温保护、无液保护、低液位保护、泵过载保护、低流量保护、漏液保护、传感器异常保护、制冷系统过载保护及紧急停机保护等功能,确保用户操作的安全性和可靠性。
13 支持产品定制
设备内部设计支持定制,便于实现客户的实际需求,满足不同的应用场景。