精密石英-杭州大和热磁

精密石英

Ferrotec（中国）精密石英では高品質の輸入原材料を使用し、最先端の加工プロセスにより処理されます。20年以上の研究開発生産を経て、Ferrotecは12"インチ，8"インチ及び8"インチ以下の半導体製造装置用の石英製品を量産化することが可能になりました。また、次世代の18"石英製品を研究開発能力も持っています。同時に顧客の要求に合わせた原材料による加工生産が可能です。

精密石英分類

Ferrotec（中国）は顧客要求を満たす為、多種多様な石英製品を加工することができます。精密加工技術、溶接技術、表面処理（洗浄）技術の三大要素技術の優位性は、グローバル視野を持つプロフェッショナル集団により支えられ、顧客に世界一流品質の製品を提供しています。

石英チューブ

プロセスチューブ、インナーチューブ、アウトチューブ、炉芯管、インジェクターなどの製品があります。主に半導体拡散、酸化、成膜、熱処理等シリコンウェーハー表面処理プロセス設備に使われています。これらの設備は接合寸法、クリーン度、シール度の高い要求が有ります。

石英ボート

5インチ、6インチ、8インチ、12インチ規格のボートに分かれ、各々の表面処理プロセス設備、湿式エッチング洗浄プロセスに使用されています。ボート類製品は直接ウェーハーを載せ、自動で上下するプロセスに使用している為、石英ボートの寸法精度とクリーン度は非常に重要です。

石英機械加工

各種リングを含め、丸型プレートなどの製品があり、主に半導体ウェーハーのエッチング、沈殿等のプロセスに応用されています。寸法精度、クリーン度、外観状態などに非常に高い要求が有り、製品によっては修正不可、一回で成型する必要が有り、高い加工能力が要求されています。

石英冶具

主に積載トレー、ベース、カーバーなどの製品があります。各半導体処理用プロセスの補助設備に適用され、その精度は適用されたプロセスによって決めます。

石英洗净

石英槽、石英ホルダーなどの製品を含み。主に半導体湿法エッチング洗浄プロセス上に適用されています。精度に対する要求はさほど厳しくないですが、外観、クリーン度に対する要求が非常に高いです。

耐熱性

光透過性

高純度

電気絶縁

化学的安定性

Ferrotec精密石英

耐热性、光透過性、高純度、電気絶縁、化学的安定性が高い。高精度の石英製品は300nm半導体チップを製作するプロセスに信頼性保証を提供できるだけでなく、太陽光電池業界の拡散プロセスに低鉄イオン、低銅イオンの要求を満足することも出来、半導体拡散エッチングプロセス、光ファイバー棒の加工、LED照明製造、太陽電池などの工業分野に広く応用されています。

Matrix diagram of applications in various fields

領域別の適用のマトリクス図

半導体関係

精密石英

半導体ウェーハの拡散、エッチングなどのプロセス；

半導体ウェーハの湿式洗浄プロセス；

半導体シリコンウェーハのEPIなどのプロセス；

エピタキシャルプロセスのMOCVD、チッププロセス；

光ファイバー用プリフォーム：製造工程中の炉心管、バーナー、締め具；