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真空チャンバー製造技術
真空チャンバー製造技術
複雑な真空チャンバーは普通、特注するものです。フェローテック(中国)は真空チャンバー製造技術を使用し、ユーザーサイドに対する専門的なデザインや製造ができます。
技術発展路線 技術的設備能力 実用新案国家特許
  • 1993 年

    フォローシールの試作開始。

  • 1995 年

    磁性流体ダンパーの生産開始。

  • 1997 年

    フェローシールの量産開始導入。

  • 1998 年

    精密真空部品を導入した生産。

  • 2000 年

    半導体OEMを開始。

  • 2002 年

    国家レベル科学プロジェクト——HIRFL-CSRプロジェクトへ参画。

  • 2005 年

    単結晶製造装置用の真空チャンバー及びスペアパーツの生産開始。


  • 2006 年

    電子ビーム蒸発器プロジェクト、電子ビーム溶接プロセス、多結晶炉真空空洞及び部品、フランスsidelプロジェクトを導入する。

  • 2007 年

    多結晶製造装置用の真空チャンバー及びスペアパーツの生産開始。


  • 2010 年

    プラズマ溶接技術を導入。

  • 2011 年

    6件の実用新案特許を取得。


  • 2012 年

    光ファイバ製造装置を導入して糸を引く炉の真空キャビティ。

  • 2014 年

    サファイア真空キャビティはASME圧力容器資格証を取得しました。

  • 2016 年

    研究(核廃棄物システム)用低温真空室。

  • 2018 年

    SIC真空キャビティ,CIGS薄膜装置用真空キャビティ及び部品。