マルチシャフトフェローシールは、半導体プロセスにおけるロボットに幅広く応用されています。更には10-8Torrの超高真空プロセスにも対応可能なフェローシールもご用意しております。
フェローテック製フェロードライブは、フェローシール、精密モータとコントローラで構成されるモーター一体型シールです。モーター一体型により、お客様での取り付けや調整の作業の工数を削減できます。フェロードライブは、MOCVD、薄膜、光学コーティング、イオンビーム蒸着、イオンビームエッチング、PVD、スパッタリング、イオン注入等に応用されることが多いです。モータ特にサーボモータが必要なプロセスによく応用されています。
ホローシャフトフェローシールは、カートリッジ機構であり既存のシャフトに挿入することができます。回転シャフトとカートリッジのスリーブシャフトとはOリングによってシールされ、クランプによってシャフトとスリーブは固定されます。典型的なホローシャフトフェローシールの応用例としてはスパッタリングで、この他エレクトロン、中性子あるいはイオン注入用のロータリーバキュームユニオン、ロータリーターゲット、そしてX線や光学系装置があります。ホローシャフトフェローシールには、スルーホールタイプ、フランジタイプを揃えております。
ソリッドシャフトフェローシールには、ミニチュアタイプ、スルーホールタイプ、フランジ付きタイプ、ヘビーデューティタイプと、幅広い用途に応じた機種を揃えております。シャフトの動力接続端部とプロセス端部の形状は小径の物を除き、キー溝機構を標準品として揃えており、その他オプションとして、フラット面、ネジ付、及び穴付などの設計も可能です。当社のスタンダードフェローシールは、ミニチュアタイプ、スルーホールタイプの一部を除き、高温・高荷重あるいは、高速回転使用に対応できる水冷タイプもご用意しております。
