省经信厅、省财政厅公布2024年度浙江省首台（套）装备认定结果，高新区（滨江）17家企业入围。其中，我司自主研发的高精密控温半导体制冷冷水机成功获评国内首台（套）！这一重大成果不仅展现了FerroTec热电事业在半导体设备制造领域卓越的创新实力，也成为了我国半导体产业国产化进程中的一座重要里程碑。
（注：首台（套）装备指的是国内实现重大技术突破、拥有自主知识产权的成套设备、整机设备及核心部件、控制系统、基础材料、软件系统等）
杭州滨江2024年度省级首台（套）装备名单
01首台冷水机性能优越控温精准稳定
冷水机10-60℃升降温速率曲线图
该高精密控温半导体制冷冷水机采用我司自主研发的半导体制冷器（TEC）作为核心制冷部件。设备结构简约精巧，可靠性极高。能够为使用者提供10-60℃的温度设定范围，在长时间持续运行状态下始终保持稳定工况。
02首台冷水机获多项专利备受行业认可
国内首台（套）高精密控温半导体制冷冷水机
我司高精密控温半导体式冷水机凭借其卓越的技术和可靠的性能，成功揽获了多项国家级专利。在实际生产中，负责涂胶显影工艺里水冷板、显影液、喷头等器件管路的温度管理（短时间内达到目标温度），目前已在涂胶显影设备领域实现了批量应用，并凭借其出色的性能表现，获得了国内主流半导体装备厂家的高度认可。这充分证明了我司冷水机的技术实力，也彰显了其在半导体涂胶显影设备温控领域的领先地位。
展望未来
我司高精密控温半导体制冷冷水机获评国内首台（套），是科技创新征程中的一个重要里程碑。未来，FerroTec热电事业将继续加大研发投入，不断探索新技术、新工艺，持续提升产品性能和品质。期待与更多行业伙伴携手共进，共同推动半导体制冷产业迈向新高峰，在全球半导体市场展现蓬勃向前的中国力量！