単結晶炉-杭州大和热磁

日本語

中文 English

RegionGlobal Website

製品情報

製品

半導体関係真空技術関係サーモモジュール機器設備

精密石英ファインセラミックス SiFusionと高純度シリコン製品石英坩堝単結晶炉精密洗净半導体ウェハー DCB基板磁性流体炭化珪素部品

フェローシール OEMオペレーション組立サービス電子ビーム蒸着用電子銃金属加工

サーモモジュール

業務用洗濯設備共通機械設備刃物&ソーブレード

市場

集積回路パネルディスプレー光ファイバー通信エナジーエレクトロニクス電気自動車新幹線家電/医療

技術

ビッグウェーハ技術セラミックス温度制御技術真空チャンバー製造技術精密洗浄技術

会社案内

グループ会社

ブランド

カルチャー

社会責任

組織構成

人材募集

人才招募

社会募集学校募集

職業展開

社員サービス

給料手当て

サービスセンター

最新情報

グループニュース

マスコミ報道

業界ニュース

日本語

中文 English

RegionGlobal Website

製品情報

製品

半導体関係

真空技術関係

サーモモジュール

機器設備

精密石英ファインセラミックス SiFusionと高純度シリコン製品石英坩堝単結晶炉精密洗净半導体ウェハー DCB基板磁性流体炭化珪素部品

フェローシール OEMオペレーション組立サービス電子ビーム蒸着用電子銃金属加工

サーモモジュール

業務用洗濯設備共通機械設備刃物&ソーブレード

市場

集積回路パネルディスプレー光ファイバー通信エナジーエレクトロニクス電気自動車新幹線家電/医療

技術

ビッグウェーハ技術セラミックス温度制御技術真空チャンバー製造技術精密洗浄技術

単結晶炉

Ferrotec（中国）単結晶炉

不活性ガスの雰囲気中で、石英ルツボ内に多結晶シリコンをチャージした状態を、独自設計のホットゾーンを用い、真空高温下で溶融します。製造方式はCZを採用し、全ての工程は自動制御で実施可能により、品質の安定性、人材の低減及び人的ミスを減らす事から可能です。また、集中管理システムを採用する事に依り、自動的に管理データの収集、分析を実現します。

単結晶炉分類

Ferrotec（中国）自主開発した単結晶引上装置、特に半導体用途の装置は門型構造を採用する事に依り、剛性を高めた事に依り、運転時の装置安定性が極めて高いです。駆動系は電動/エアー方式を採用、コラムの駆動に関しては軸受にオイルレス機構を採用している事から、汚染を抑える事が可能です。また、超電導マグネットを搭載する事に依り、8/12インチ結晶の品質を効率良く高める事が可能です。シリーズには異なるモデルがあり、必要用途に合わせた選択を可能としています。

ソーラー結晶用途単結晶炉FT-CZ1200Pv

シリコン構造材用途単結晶炉FT-CZ1400Si

半導体用途単結晶炉FT-CZ1200Se/1400Se

人間的デザイン

管理、操作およびメンテナンスの利便性

全自動、安全性、均一性

安定、清潔

Ferrotec単結晶炉利点

安定、清潔,全自動、安全性、均一性、管理、操作およびメンテナンスの利便性、人間性の設計；溶接技術は日本のJIS規格を採用し、チャンバーを二重構造の水冷式設計を行って降り、圧力変化等の異常時に於いても、リリーフ弁、及び装置構造により安全を確保します。各装置には、集中管理システム用の接続コネクターを装備している事から採用する事に依り集中監視/管理を行う事が出来ます。

資料ダウンロード

単結晶炉パラメータ

即座にダウンロードする

連絡先番号： 021-36160062

E-mail： sales@hanhong.sh.cn