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汉虹12英寸半导体单晶炉:创新铸就辉煌,荣誉再度加冕!
2024-05-28

    在这个科技进步飞速的时代,每一项创新都是对未来的坚定探索!上海汉虹精密机械有限公司的“12英寸半导体单晶炉”项目,凭借其卓越表现,斩获由国家科技主管单位权威认证、中国发明学会精心设置的“发明创业项目奖”银奖殊荣,这是对技术革新能力的高度赞誉,也是产学研紧密结合、追求高质量发展的亮丽标志!

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    在激烈竞争中,汉虹的12英寸半导体单晶炉自2248个项目中崭露头角,经过严格筛选与评审,与全球前沿创新成果比肩,共绘科技创新的宏伟图景。


    这一荣耀,紧接着“第34届上海市杰出发明选拔赛金奖”及“第六届中国(上海)国际发明创新博览会金奖”之后,汉虹再次以其实力书写辉煌,有力证明了中国半导体装备制造行业的蓬勃兴起!

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    2022年12月,12英寸半导体单晶炉从众多创新成果中脱颖而出,一举摘得“优秀发明金奖”这一殊荣。该奖项由上海市总工会、上海市知识产权局、共青团上海市委员会、上海市科学技术协会及上海发明协会等多家权威机构联袂颁发,其含金量不言而喻,是对获奖技术在创新性、实用性和行业引领价值上的高度认可。

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    12英寸半导体单晶炉在国际发明创新展览会上荣膺金奖,这一荣誉不仅是对技术创新力的高度认可,更是全球范围内该领域高水平的标志。该展览盛会由商务部、科技部、国家知识产权局和上海市政府共同主办,联合国工业发展组织、联合国开发计划署、世界知识产权组织支持,是我国首个集技术展示和交易服务为一体的国家级、国际性、综合性展会。 

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汉虹12英寸半导体单晶炉:超越局限,引领前行之路!

-1 技术跃进-

采用先进32英寸大尺寸热场设计,结合GSim热模拟技术,热场结构革新,效率与节能并举;

-2 纯净优化-

内置智能真空排气系统,自动化去除氧化物,确保生产流程更纯净;

-3 工艺革新-

独有气囊密封技术及水平开闭真空水冷旋板阀,解决工艺气体控制难点,确保晶体直径恒定,降低不良品产出;

-4 双层防护-

创新双层水冷套系统,强化冷却效能同时有效清除氧化物,促进晶体更优成长;

-5 精确控制-

德国高精度激光液口距检测反馈控制系统,液面到热屏距离精控误差仅±0.5mm,为拉晶过程保驾护航;

-6 精妙升降-

应用高精度升降机模组驱动,实现四轴同步升降的磁场装置,确保稳定无振动,无异响,提升操作的可靠性;

-7 自动校准-

一体化重锤籽晶夹头装置,创新锥面接合设计,大幅提升籽晶与夹头的贴合度,提升工作效率和产品品质,保证安装可靠性和一致性。