多轴密封传动装置主要为机械手而设计,这类产品广泛应用于半导体的加工和生产,同时我们也有10-8Torr的超高真空用密封装置。
Ferrotec提供的FerroDrive集成电机磁流体真空传动装置将一个密封Ferrofluidic真空磁流体、一个高精度电机以及控制器集成起来,为客户提供一件紧凑且高性能的密封旋转系统。这种设计根除了客户在联接分立部件时遭遇到的整合挑战以及潜在的机械故障点。同轴驱动磁流体装置经典应用领域包括:MOCVD、薄膜产业、光学镀膜、离子束沉积、离子束刻蚀、物理气相沉积、离子溅射、离子注入以及任何需要应用电机的场合,特别是需要伺服电机的场合。
空心轴密封传动装置有一个卡箍,它通过0型圈密封把用户轴和密封装置的转轴连在一起。运用的典型例子就是溅射设备,其中例如电子、中性子或离子的注入用旋转单元、旋转物架以及X射线和光学机器。空心轴密封传动装置有通孔型、法兰型等,也可以按照用户的要求进行特殊设计或不带卡箍。
我们有多重实心轴传动装置,例如:微型、通孔型、法兰型、重负载型,适用于各种场合。除小径的转轴外,转轴的动力装配部和用户安装部的形状有标准的键槽以外,还能根据用户的要求,设计、制造多重配合形式,如扁平面、螺纹连接、孔连接等。我们的标准公制密封传动装置也有适用于高温、重负载、高速场合时的水冷形式(除一些微型、通孔型磁性流体密封装置以外)